MicroSafety
Microcontaminant Outgassing Test on the ATS FXP⢠Duct Exterior
NanoAnalysis of ATS ChemBond⢠Putty for Offgassing
1993ë ì´ëë¡ ATSë íì´í ë¶ì¼ì 충ì¤í기 ìí´ ì 기 íí©ë¬¼ ë°©ì¶ í ì¤í¸ë¥¼ í´ì¤ê³ ììµëë¤. 1993ë , ATSë ê·¸ ë¹ìì íì¤ì¸ SEMI E46-95를 í ì¤í¸íìµëë¤. 2012ë ìë ë ë°ëì²´ì© êµì 기ì ë¡ëë§µì¸ ITRSì ëª ìë íë¡í ì½ì ë§ì¶° í ì¤í¸ë¥¼ ì§ííìµëë¤. í ì¤í¸ ë³´ê³ ìë ìëì ê°ìµëë¤. 2016ë ATSë ì¸ê³ ìµë ë°ëì²´ ì ì¡°ì ì²´ ì¤ íëì¸ ìµì²¨ë¨ ê³µì¥ì´ì ë¬´ê· ì¤ìì íê°ëììµëë¤. íê°ê²°ê³¼ë¡, ATSë í´ë¹íì¬ì 미ì¸ì¤ì¼ë¬¼ì§ ë¶ììì ë¬´ê· ì¤ììì ì¬ì©ì´ ì¹ì¸ëììµëë¤. ì 기ê°ì¤ ë°©ì¶ ITRS íì¤ì 26,000íì¸ /ì¡°(ppttv)ì ëë¤. ì¨ì´í¼ì ê·¼ì íì¬ í ì¤í¸ë ATSâ ChemBondâ¢ë 14pptvì ì 기ê°ì¤ë§ì ë°©ì¶íììµëë¤. ATS ë 벨ì (26000/14=)ITRS íì¤ë³´ë¤ 1800ë°° ë®ììµëë¤.
