1999ë ATSë ìì¤í ì´ ì´ìëë ëìì ë©ì¸ ëí¸ì ATS saddle taps를 ì¬ì©í ì ììì ë³´ì¬ì£¼ë ì¤íì ìííìµëë¤. ì´ë¥¼ ì»ê¸° ìí´ ì¬ì©ë ì ì°¨ë ì´ ì¤ëª ì ì¤ì¹ ì¹ì 151-152íì´ì§ ëìììµëë¤. ìë ¥ìì¤ì 0.005ì¸ì¹ ìí°ì¹¼ë¼ìì 0.2 ìí°ì¹¼ë¼ì¼ë¡ ë§¤ì° ë¯¸ì¸íìµëë¤.
ATSë âHot Tapâì ATS Saddle Tapì ë¼ì´ë¸ìì¤í ììì ì ì©ì¼ë¡ ì ìí©ëë¤. ATS Hot Tapsë 1990ë ëì ìºë¦¬í¬ëì ë¡ì¦ë¹ NECìì ì²ì ë¼ì´ë¸ìì¤í ì ì ì©ëììµëë¤. íì¬ ATS Hot Tapì ì±ê³µì ì¼ë¡ ì ì¸ê³ìì ì¬ì©ëê³ ììµëë¤. ATS ChemBondì ë°°ì¶ì´ ë§¤ì° ë®ê¸° ë문ì(213-214íì´ì§ì Balazs Nanoanalysis 리í¬í¸ë¥¼ 참조í ê²), ì´ ì ì°¨ë 깨ëí ê³µê°ìì ì¤íë ì ììµëë¤.








